שלום וסטפאליה
סופה הממשי של האימפריה הגיע בכמה שלבים. שלום וסטפאליה ב-1648, שסיים את מלחמת שלושים השנים, העניק לטריטוריות עצמאות כמעט מלאה. הקלוויניזם הותר כעת, אך אנאבפטיסטים, ארמיניאנים וקהילות פרוטסטנטיות אחרות עדיין חסרו כל תמיכה והמשיכו להיות נרדפים עד סוף האימפריה. הקונפדרציה השווייצרית, שכבר ביססה עצמאות למחצה ב-1499, כמו גם צפון ארצות השפלה, עזבו את האימפריה. קיסרי הבסבורג התמקדו בביסוס נחלותיהם באוסטריה ובמקומות אחרים. הסכמי וסטפאליה הביאו לסיומה תקופה הרת אסון בהיסטוריה האירופית שגרמה למותם של כ-8 מיליון בני אדם. חוקרים זיהו את וסטפאליה כתחילתה של המערכת הבינלאומית המודרנית, המבוססת על המושג ריבונות וסטפאלית, אם כי פרשנות זו עוררה מחלוקת.
