NMOSアクティブピクセルセンサー（APS）は、1980年代半ばに日本のオリンパスによって発明されました。これはMOS半導体デバイス製造の進歩により、MOSFETの微細化がミクロン単位、さらにはサブミクロン単位に達したことで可能になりました。NMOS APSは1985年にオリンパスの中村勉氏のチームによって製造されました。CMOSアクティブピクセルセンサー（CMOSセンサー）は、その後1993年にNASAジェット推進研究所のエリック・フォッサム氏のチームによって開発されました。
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