NMOS 능동 픽셀 센서(APS)는 1980년대 중반 일본의 올림푸스(Olympus)에서 발명되었습니다. 이는 MOSFET 스케일링이 더 작은 미크론 단위와 서브 미크론 단위에 도달하는 등 MOS 반도체 소자 제조 기술의 발전으로 가능해졌습니다. NMOS APS는 1985년 올림푸스의 나카무라 츠토무(Tsutomu Nakamura) 팀에 의해 제작되었습니다. CMOS 능동 픽셀 센서(CMOS 센서)는 이후 1993년 NASA 제트 추진 연구소의 에릭 포섬(Eric Fossum) 팀에 의해 개발되었습니다.
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