يُنسب أول استخدام لمصطلح "المعالج الدقيق" إلى شركة فياترون كومبيوتر سيستيمز التي تصف الدائرة المتكاملة المخصصة المستخدمة في نظام الكمبيوتر الصغير نظام 21 الذي تم الإعلان عنه في عام 1968.
