صلح وستفالی
پایان واقعی امپراتوری در چندین مرحله رخ داد. صلح وستفالی در سال ۱۶۴۸، که به جنگهای سیساله پایان داد، به قلمروها استقلال تقریباً کاملی بخشید. کالوینیسم اکنون مجاز بود، اما آناباپتیستها، آرمینیانها و سایر جوامع پروتستان همچنان از هرگونه حمایتی محروم بودند و تا پایان امپراتوری تحت آزار و اذیت قرار داشتند. کنفدراسیون سوئیس، که قبلاً در سال ۱۴۹۹ استقلال نسبی ایجاد کرده بود، و همچنین هلند شمالی، امپراتوری را ترک کردند. امپراتوران هابسبورگ بر تحکیم املاک خود در اتریش و جاهای دیگر تمرکز کردند. معاهدات وستفالی به دوره فاجعهبار تاریخ اروپا که باعث مرگ حدود هشت میلیون نفر شد، پایان داد. محققان وستفالی را آغاز سیستم بینالمللی مدرن، مبتنی بر مفهوم حاکمیت وستفالی، دانستهاند، اگرچه این تفسیر مورد چالش قرار گرفته است.
