Cảm biến hình ảnh bán dẫn đầu tiên là CCD, được phát minh bởi Willard S. Boyle và George E. Smith tại Bell Labs vào năm 1969. Trong khi nghiên cứu công nghệ MOS, họ nhận ra rằng điện tích là tương tự của bong bóng từ và nó có thể được lưu trữ trên một tụ điện MOS nhỏ.
